日本SMC电磁阀选型@SMC真空阀XL系列

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在半导体制造过程中，腐蚀装置、喷镀装置，离子注入装置和CVD装置等许多部分，都要把芯片和液晶基板放在真空室内处理，该真空
室供气、排气(真空)用阀，要求它们无泄漏、耐腐蚀且是洁净规格。

真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态，是一种物理现象。在“虚空”中，声音因为没有介质而无法传递，但电磁波的传递却不受真空的影响。事实上，在真空技术里，真空系针对大气而言，一特定空间内部之部份物质被排出，使其压力小于一个标准大气压，则我们通称此空间为真空或真空状态。真空常用帕斯卡（Pascal ）或托尔（Torr ）做为压力的单位。在自然环境里，只有外太空堪称zui接近真空的空间。

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