KITZ集团一直秉承“以更好的品质"、“更低的成本"在客户“需要的时候"按客户“需要的数量"提供客户所需的产品这一制造理念。而这一制造产品理念的保障就是创新性生产方式“KICS(KITZInnovative and ChallengingSystem)"。KICS在需要的时候按各道工序逐件生产商品 消除从接单、生产到交付这一系列过程中的停滞和浪费,可降低成本并缩短交期。KITZSCT在制造产品体系中引入了“KICS"理念,致力为客户准时提供产品。制造产品所需 系统.KITZSCT,在国内外(新田SC工厂、中国昆山工厂)所有的生产据点都取得了ISO9001的认证。在日本国内(新田SC工厂)还取得了依据高压气体保安法的大臣认定试验。本公司确立了在开展业务活动中以ISO9001为标,所有的部门都在 产体制下运用和维 统。
■主要特点
◎最大限度缩小阀体纵向开孔尺寸,使内容积缩小到1.36cm(3 1/4"CVC 外螺纹 OPEN 时),实现了优异的气体置换性。
◎采 触气体部位密封结构,最大限度提高了密封性能、耐久性、脱气性能、耐腐蚀性能。
◎严格挑选隔膜材料提高耐腐蚀性能并采用 型方法,最大限度杜绝加工所造成的个体差异,实现了高耐久性能。
◎采用最高等级的制造环境和内面研磨处理,可用于半导体用高纯度气体,最大限度提高了防颗粒性能。
“VLCD"系列隔膜阀在继承以往的 KD 系列的基本性能的同时,实现了部件
的通用化。■主要特点
◎外观尺寸比以往产品 KD 系列缩小了 20%。
◎对各部件、材料进行改进,降低了成本价格。
◎清洗工序、检查工序与以往产品相同,可用于半导体、FPD、LED 用制造装置等。
尺寸 VLCD4(1/4")
Cv 值 0.1
使用压力 0.98MPa(G)
接触气体部位内容积 0.85cm3
使用流体温度范围 -10℃~ 80℃
检查泄漏量 内部泄漏 1×10-10Pa?m3/sec 以下
外部泄漏 1×10-10Pa?m3/sec 以下
环境温度范围 -10℃~ 60℃
操作压力(气动阀) 0.4 ~ 0.6MPa(G)
动作耐久性 ※ 400 万次
※ 本公司实测值〔测试条件〕密封圈 :PCTFE,流体 :N2,封入压力 :0.98MPa
等级 STD EP
阀体材质 SUS316L
内表面粗糙度 Rz3.2μm以下 Rz0.7μm以下
研磨 机械研磨加工 电解研磨加工
清洗
脱脂清洗
+
精密清洗
包装 单层 双层
阀体 SUS316L
密封圈 PCTFE
隔膜片 钴合金
VLD4QLS-VC-EP-316L
VLD4QLS-VFC-STD-316L
VLD4QLS-WC-EP-316L
VLD4QLS-VA(P)-STD-316L
VLD8QLS-VC-EP-316L
VLD8QLS-VFC-STD-316L
VLD8QLS-WC-EP-316L
VLD8QLS-VA(P)-STD-316L
VLD4MS-VC-EP-316L
VLD8MS-VC-EP-316L
VLD4MS-VFC-EP-316L
VLD8MS-VFC-EP-316L
VLD4MS-SC-STD-316L
VLD6MS-SC-STD-316L
VLD8MS-SC-STD-316L